单晶硅生长炉是一种通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由炉底框架、主陆室、炉盖、隔离阀室、副炉室、坩埚提升旋转机构、籽晶提升旋转机构等组成。
主要工艺是将硅原料放置熔炉中，等熔化之后置入种子晶，待其沿着种子晶的晶格结构生长，期间需要通过缓慢提拉种子晶从而形成单晶硅。
单晶硅生长炉是一种通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由炉底框架、主陆室、炉盖、隔离阀室、副炉室、坩埚提升旋转机构、籽晶提升旋转机构等组成。
主要工艺是将硅原料放置熔炉中，等熔化之后置入种子晶，待其沿着种子晶的晶格结构生长，期间需要通过缓慢提拉种子晶从而形成单晶硅。
定位精度低
高温环境下系统不稳定
主要采用英孚康ICC系列PLC、ICM系列伺服、ICC-B系列IO，搭配ICS自研编译软件稳定可靠安全，经检测该控制系统在高温的环境下依然能做到高精度定位、高响应速度、高抗干扰能力，充分满足客户的高应用需求。
全部采用总线型伺服及高精度数字编码反馈，不存在干扰等问题。
目前设备通常需要保持长时间不停机，这对于控制系统的稳定性有着很高的要求。英孚康产品内置抗干扰装置，MTBF超过50万小时，确保稳定可靠。
控制系统可在高温环境下稳定运行，全部采用总线型伺服及高精度数字编码反馈，使得现场不受其他干扰。
开放和标准的网络资源库，提升智能设备的开放性和信息化能力。
